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仕様
| 項目 |
内容 |
| 検査方式 |
ラインセンサーカメラ（フルカラー画像処理） |
| 検査分解能 |
2.0μm/pix |
| 検出精度 |
□5μm以上の欠陥検出が可能 |
| 検査形態 |
イントレイでの検査 |
| 検査スピード |
1.2s/IC（Tray to Tray） |
| 制御分解能 |
Y軸 |
0.125μm |
| X軸 |
0.625μm |
| ワークサイズ |
幅 |
(max)□4.0mm以下 |
| 長さ |
(max)□24.0mm以下 |
| トレイサイズ |
2",3",4"inch |
| ローダ/アンローダ |
Trayストック方式（最大50枚) |
| ストア品種数 |
300品種 |
| 駆動源 |
入力電源 |
100V AC、φ1、50Hz/60Hz |
| エアー |
500KPa(5Kgf/c㎡) |
| 装置寸法 |
1,500W×1,240D×1,620H |
| 標準価格 |
\48,000,000 |
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